HOTLINE: +84 979761016
Các cơ sở phòng sạch đóng vai trò quan trọng trong quá trình phát triển và sản xuất các sản phẩm bán dẫn và dược phẩm, công nghệ sinh học và các lĩnh vực khác rất nhạy cảm với ô nhiễm môi trường. Được thiết kế để duy trì mức độ hạt trong không khí cực thấp, phòng sạch có thể được phân loại thành 9 loại được xác định theo số lượng hạt trên một mét khối.
Hãy lấy phân loại ISO 9 làm ví dụ. Có khoảng 35.000.000 hạt cho mỗi mét khối (kích thước từ 0,5 μm trở lên), trong khi phân loại ISO 1 chỉ cho phép 12 hạt cho mỗi mét khối (3μm trở xuống).
Có nhiều biến số cần thiết để đạt được chứng nhận vệ sinh phòng sạch cụ thể, nhưng máy đếm hạt là một công cụ thiết yếu được sử dụng để theo dõi, phân loại và chẩn đoán nguồn chất gây ô nhiễm trong hoạt động phòng sạch. Máy đếm hạt nên là một công cụ tiêu chuẩn được sử dụng để đo lường và duy trì mức độ sạch mong muốn trong tất cả các phòng sạch.
Máy Đếm Hại Bụi 3 Kênh KANOMAX 3888
Máy đếm hạt bụi được sử dụng để theo dõi và chẩn đoán ô nhiễm hạt trong môi trường sạch cụ thể, bao gồm không khí, nước và hóa chất. Máy đếm hạt bụi được sử dụng trong nhiều ứng dụng khác nhau để hỗ trợ các hoạt động sản xuất sạch, các ngành công nghiệp bao gồm: linh kiện và cụm lắp ráp điện tử, sản phẩm dược phẩm và thiết bị y tế, và các công nghệ công nghiệp như dầu khí.
Tiêu chuẩn phòng sạch ISO 14644-1
| Số hạt tối đa/ft³ | ||||||
| Lớp học | >0,1 um | >0,2 um | >0,3 um | >0,5 um | >5 um | Tương đương ISO |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO3 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO4 | |
| 100 | 100 | ISO5 | ||||
| 1000 | 1000 | 7 | ISO6 | |||
| 10.000 | 10.000 | 70 | ISO7 | |||
| 100,00 | 100.000 | 700 | ISO8 | |||
Máy đếm hạt khí dung có hai loại: loại quang học và loại ngưng tụ.
Máy đếm hạt quang học có khả năng theo dõi các hạt trong không khí và chất lỏng. Sử dụng nguồn sáng năng lượng cao, các hạt được đo và đếm khi nguồn sáng bị chặn. Thiết bị theo dõi cụ thể này sử dụng nguyên lý tán xạ ánh sáng để đo các hạt trong không khí. Một hạt quang học cũng có thể phát hiện và đo các hạt bằng cách sử dụng các phương pháp chặn ánh sáng, tán xạ ánh sáng và hình ảnh trực tiếp.
Máy đếm hạt ngưng tụ sử dụng cồn isopropyl hoặc butanol để làm tăng kích thước các hạt đi vào lên đến 200%, cho phép phát hiện dễ dàng hơn bằng cách điều chỉnh mức độ bão hòa khi chúng dao động theo nhiệt độ. Thiết bị giám sát này cho phép các kỹ thuật viên phát hiện các hạt nhỏ tới 2nm, trong khi các hạt nhỏ như vậy không thể được phát hiện bằng máy đếm hạt quang học. Có sẵn ở dạng cầm tay, các mẫu này lý tưởng cho phòng sạch vì chúng có lưu lượng thấp hơn để kiểm tra tại chỗ và chứng nhận khối lượng không khí nhỏ hơn. Để giám sát khối lượng không khí lớn hơn suốt ngày đêm, có thể lắp đặt máy đếm hạt ngưng tụ di động lớn trong phòng sạch.
Máy Đo Nồng Độ Bụi Trong Không Khí RION KC-51, KC-52
Máy đếm hạt được sử dụng trong các ứng dụng đòi hỏi kiểm soát ô nhiễm trong sản xuất. Ví dụ về các ngành công nghiệp này bao gồm: sản xuất chất bán dẫn; sản xuất và lắp ráp linh kiện điện tử; sản xuất và lắp ráp quang học và quang tử; hàng không vũ trụ; sản xuất dược phẩm và công nghệ sinh học; sản xuất thiết bị y tế; sản xuất mỹ phẩm; và sản xuất thực phẩm và đồ uống. Chúng cũng được sử dụng trong các ứng dụng công nghiệp như dầu khí, chất lỏng thủy lực và lắp ráp và sơn ô tô.
Công dụng chính của máy đếm hạt khí dung là xác định mức độ ô nhiễm trong phòng sạch hoặc thiết bị ngăn chặn sạch. Phòng sạch và thiết bị ngăn chặn sạch duy trì mức không khí không có hạt thấp thông qua việc sử dụng bộ lọc và được phân loại theo số lượng hạt được phép; tiêu chuẩn chính cho phòng sạch hoặc thiết bị không khí sạch là ISO 14644-1, các tiêu chuẩn địa phương khác cũng có thể tồn tại như FED-STD-209E.
Sản xuất điện tử và lắp ráp điện tử đòi hỏi các biện pháp kiểm soát môi trường nghiêm ngặt, đặc biệt là khi các quy trình được thực hiện trong điều kiện phản ứng. Năng suất giảm khi các thành phần bị nhiễm các hạt và nguyên tố vi lượng. Máy đếm hạt chứng minh rằng các biện pháp kiểm soát này có hiệu quả và môi trường sản xuất được tối ưu hóa để đạt được chất lượng yêu cầu.
Tùy thuộc vào ứng dụng và kích thước của các hạt quan tâm, cần có các thiết bị đo lường khác nhau.
Giám sát hạt không khí là cần thiết để đảm bảo môi trường sản xuất không có mức độ ô nhiễm gây ra khuyết tật. Nó được thực hiện cho toàn bộ khu vực phòng sạch (phòng khiêu vũ, vịnh và đường chạy), hoặc môi trường được kiểm soát cục bộ cụ thể (công cụ và môi trường nhỏ).
Khi cần giám sát các khu vực rộng lớn, có thể sử dụng ống phân phối, ống phân phối là thiết bị dùng để kết nối nhiều vị trí lấy mẫu thông qua chiều dài ống mẫu, với thiết bị bước trung tâm và máy đếm hạt trung tâm, thiết bị này sẽ tuần tự di chuyển giữa các vị trí ống, lấy số liệu từ mỗi vị trí. Có thể giám sát các không gian nhỏ hơn bằng các cảm biến hạt nhỏ tại điểm sử dụng, chúng dành riêng cho việc lấy mẫu tại một vị trí duy nhất và dựa vào nguồn cung cấp chân không trung tâm hoặc máy bơm mẫu bên trong. Kích thước hạt chất gây ô nhiễm và tần suất đo là các yếu tố quyết định phương pháp nào phù hợp nhất.
MÁY GHI DỮ LIỆU HẠT BỤI MÔI TRƯỜNG KANOMAX 3443
Có hai ứng dụng chất lỏng chính trong quy trình sản xuất thiết bị điện tử, hóa chất chế tạo và nước siêu sạch để làm sạch và tráng.
Hóa chất xử lý được sử dụng trong các bước xử lý chất bán dẫn và các sản phẩm quan trọng khác (khắc hóa học, loại bỏ mặt nạ và đánh bóng cơ học hóa học). Việc giám sát hạt trong hóa chất xử lý, từ khâu sản xuất đến điểm sử dụng, là cực kỳ quan trọng để kiểm soát các quy trình sạch này nhằm đảm bảo chất lượng sản lượng và thông lượng. Việc sử dụng giám sát hạt liên tục trực tuyến cho phép cả kỹ sư quy trình và kỹ sư cơ sở phản ứng nhanh chóng với những thay đổi về mức độ tinh khiết của hóa chất trong suốt quá trình phân phối hóa chất.
Nước siêu tinh khiết (UPW) / Nước DI được sử dụng cho các bước làm sạch và rửa quan trọng, các quy trình UPW phải duy trì mức nồng độ hạt rất thấp, thường được đo ở mức 20 nm. UPW cũng thường được sử dụng cho các bước pha loãng hóa chất và xả trong các hệ thống pha trộn và phân phối hóa chất. Việc sử dụng giám sát hạt liên tục trực tuyến, tại bước lọc nước cuối cùng hoặc tại điểm sử dụng wafer, cung cấp cho các kỹ sư quy trình dữ liệu hạt quan trọng cần thiết để quản lý hiệu quả các quy trình lọc nước và làm sạch wafer.
Hệ thống khí . Các loại khí có độ tinh khiết cao rất quan trọng đối với quá trình sản xuất linh kiện tiên tiến. Các sản phẩm như mạch tích hợp cần nhiều loại khí quy trình cho: khắc, lắng đọng, oxy hóa, pha tạp và các ứng dụng phủ trơ. Các tạp chất trong các luồng khí này có thể gây ra lỗi trong các quy trình quan trọng và ảnh hưởng đến năng suất và thông lượng. Các loại khí dễ nổ hoặc nguy hiểm được thử nghiệm ở áp suất bằng máy đếm hạt chứa trong vỏ khí trơ, chịu áp suất. Các loại khí không phản ứng có thể được giảm áp bằng thiết bị khuếch tán khí đường dẫn sạch và được thử nghiệm bằng máy đếm hạt di động.
Các ứng dụng Khoa học sự sống bao gồm các ngành công nghiệp như sản xuất dược phẩm, sản xuất công nghệ sinh học, cơ sở pha chế, thiết bị y tế, dược phẩm chức năng và chế biến thực phẩm; đây là những ngành công nghiệp tạo ra các sản phẩm để cải thiện cuộc sống của các sinh vật sống. Môi trường sản xuất phải loại bỏ hoặc giảm thiểu chất gây ô nhiễm để giảm thiểu rủi ro ô nhiễm sản phẩm thành phẩm, có thể dẫn đến phản ứng hóa học trong sản phẩm hoặc chất lượng không mong muốn của sản phẩm.
Ngành công nghiệp được kiểm soát thông qua sự giám sát của chính phủ đối với việc lập công thức, sản xuất và phát hành tất cả các sản phẩm, và các biện pháp kiểm soát được thiết lập và giám sát để đảm bảo sản xuất được duy trì theo các tiêu chí chất lượng đã thỏa thuận. Thực hành sản xuất tốt (GMP) đảm bảo rằng sản phẩm được sản xuất theo các tiêu chuẩn quốc gia và quốc tế bởi các tổ chức như Cục Quản lý Thực phẩm và Dược phẩm (FDA), Cơ quan Y khoa Châu Âu (EMA) và Tổ chức Y tế Thế giới (WHO), các cơ quan chính phủ quốc gia khác cũng quản lý việc sản xuất sản phẩm cho quốc gia của họ.
Môi trường sản xuất các sản phẩm thuốc cần phải kiểm soát để đảm bảo tổng lượng hạt và khí dung vi khuẩn được duy trì ở mức phù hợp để giảm nguy cơ nhiễm bẩn sản phẩm. Thiết kế môi trường xem xét tình trạng nhiễm bẩn trong nhiều bước quy trình khác nhau, bao gồm: tinh chế nguyên liệu thô, pha chế sản phẩm, chiết rót cuối cùng và đóng gói. Tùy thuộc vào loại sản phẩm được sản xuất, mức độ không gian được kiểm soát sạch sẽ ban đầu được xác định bằng cách sử dụng các tiêu chuẩn phân loại phòng sạch, nguy cơ nhiễm bẩn càng cao thì môi trường càng sạch, ví dụ, chiết rót vô trùng được thực hiện trong môi trường được kiểm soát theo ISO 5, trong khi sản phẩm đã được khử trùng cuối cùng được hoàn thiện trong khu vực theo ISO 7 (trước khi khử trùng cuối cùng).
Phân loại rủi ro cũng góp phần vào loại công cụ được sử dụng. Giám sát chung theo định kỳ sử dụng thiết bị di động, được di chuyển từ vị trí này sang vị trí khác theo xác định của đánh giá rủi ro. Đối với sản xuất có rủi ro quan trọng hơn, những hoạt động này được thực hiện trong một máy cô lập môi trường chung khỏi môi trường quy trình, việc loại bỏ nhân sự khỏi khu vực trực tiếp bằng cách sử dụng bộ cách ly hoặc RABS làm tăng độ tin cậy của việc kiểm soát, những máy này được giám sát liên tục bằng các công cụ lấy mẫu điểm cung cấp phản hồi liên tục về chất lượng môi trường và bất kỳ sự kiện ô nhiễm nào theo thời gian thực. Mối quan tâm chính đối với ô nhiễm là nguy cơ gây ra tác động bất lợi cho người dùng cuối, một minh chứng về kiểm soát kết quả là tăng sản lượng. Môi trường chung cũng được giám sát để tìm bất kỳ chất gây ô nhiễm vi khuẩn nào bằng các kỹ thuật truyền thống như đĩa lắng và máy lấy mẫu không khí thể tích.
Hệ thống chất lỏng chủ yếu được sử dụng trong phòng thí nghiệm để chứng minh sự vắng mặt của các hạt trong các sản phẩm dạng lỏng thành phẩm. Bất kỳ hạt nào có mặt đều có thể là chất gây ô nhiễm hoặc các kết tụ không mong muốn của sản phẩm không hòa tan. Chất lỏng để tiêm có giới hạn quy định cho nồng độ hạt tối đa, các tiêu chuẩn có trong Dược điển Hoa Kỳ (USP), Dược điển Châu Âu (EP) và Dược điển Nhật Bản (JP) xác định các giới hạn này.
Khí nén được sử dụng trong quá trình pha chế, vận chuyển và phủ phải đáp ứng các tiêu chuẩn tương tự để tuân thủ GMP như tất cả chất lượng không khí môi trường và phải được thử nghiệm tại điểm sử dụng. Máy đếm hạt được trang bị thiết bị khuếch tán áp suất khí làm giảm áp suất đường ống xuống khí quyển mà không ảnh hưởng đến đường đi của các hạt trong luồng khí, sau đó khí được thử nghiệm ở áp suất khí quyển.
Các ngành công nghiệp khác cũng sử dụng máy đếm hạt để chứng minh độ sạch của môi trường sản xuất hoặc chất lượng của thành phẩm. Chúng kết hợp với nhau để giảm bất kỳ quy trình vệ sinh bổ sung nào.
Sơn ô tô trong môi trường sạch sẽ làm giảm nhu cầu phải làm lại các khuyết tật trong lớp sơn hoàn thiện. Máy đếm hạt nằm trong khu vực sạch sẽ cung cấp phản hồi liên tục cho các kỹ sư chất lượng, đảm bảo duy trì điều kiện sạch sẽ. Động cơ được chế tạo theo dung sai chính xác được làm sạch và lắp ráp trong khu vực sạch, sử dụng các chất tẩy rửa được xác minh bằng máy đếm hạt.
Chất lỏng và dầu thủy lực phải đáp ứng các tiêu chuẩn ISO 4406 cụ thể. Ứng dụng của chất lỏng thủy lực khác nhau từ hàng không vũ trụ và làm mát và bôi trơn tuabin đến máy móc hạng nặng. Sự tích tụ và hiện diện của các hạt có thể gây ra hỏng hóc ổ trục, máy bơm và phớt.
Nước là sản phẩm phổ biến với số lượng ứng dụng không giới hạn và có thể bị ô nhiễm do tương tác cố ý với các quy trình hoặc sự thay đổi không chủ ý và theo mùa. Việc giám sát chất lượng nước bằng máy đếm hạt, bằng cách kiểm tra tại chỗ tại vị trí lấy mẫu hoặc liên tục giám sát hệ thống phân phối, cho phép các kỹ sư chất lượng phản ứng với những thay đổi trong các quy trình sử dụng nước.
Máy đếm hạt được sử dụng để xác định tốc độ lọc, yêu cầu bổ sung hóa chất, khoảng thời gian xả, thông tin lắng, lưu lượng làm mát và các biến số quy trình khác cho phép phản hồi liên tục, đảm bảo chất lượng nước đồng nhất cho một quy trình.
Các hạt tồn tại trong khí quyển ở nồng độ có thể gây hại cho sức khỏe và đã được chứng minh là một yếu tố gây ra nhiều bệnh lây truyền qua không khí như hen suyễn. Các loại hạt trong khí quyển bao gồm các hạt vật chất lơ lửng; các hạt có thể hít vào và hít vào; các hạt thô có thể hít vào, được gọi là PM10, là các hạt thô có đường kính 10 micromet (μm) hoặc nhỏ hơn; các hạt mịn, được gọi là PM2.5, có đường kính 2,5 μm hoặc nhỏ hơn; các hạt siêu mịn; và bồ hóng.
Máy đếm hạt được sử dụng để theo dõi mức độ ô nhiễm khí quyển của các hạt lơ lửng này, cho phép giảm các hạt liên quan đến một nguồn cụ thể (ví dụ như quá trình đốt cháy) hoặc công nghệ (ví dụ như phát điện). Mô hình hóa dữ liệu hạt từ các máy đếm hạt phân phối trên toàn cầu cung cấp thông tin xu hướng về trạng thái chất lượng không khí và quá trình di chuyển của nó.
Việc lựa chọn máy đếm hạt cho phòng sạch có thể là một quá trình khó khăn, nhưng chúng tôi hy vọng bài viết này có thể cung cấp đủ thông tin giúp bạn mua được thiết bị theo dõi hạt phù hợp cho phòng sạch của mình.
SEMIKI là công ty dẫn đầu trong thị trường cung cấp giải pháp hệ thống đo đếm hạt bụi, phân tích hạt tiểu phân trong các phòng sạch ngành sản xuất điện tử, y dược… các sản phẩm Semiki lựa chọn có thể hỗ trợ nhiều yêu cầu của các nhà máy sản xuất nổi tiếng.
LIÊN HỆ:
Công Ty TNHH thiết Bị Đo SEMIKI
Email: sales@semiki.com
Điện thoại : +84 9797 61016