HOTLINE: +84 979761016
Giải pháp kiểm soát điện tích tĩnh điện
DÀNH CHO NGÀNH SẢN XUẤT BÁN DẪN
Điện tích tĩnh trong sản xuất chất bán dẫn
Điện tích tĩnh được tạo ra trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn, chủ yếu do tiếp xúc và tách các vật liệu không giống nhau.
Điện tích tĩnh ảnh hưởng đến năng suất và sản lượng theo ba cách. Điện tích tĩnh thu hút tĩnh điện (ESA) các hạt từ không khí gây ra tổn thất năng suất tiềm ẩn trên các tấm wafer và lưới. Phóng điện tĩnh điện (ESD) của điện áp gây ra các khuyết tật tức thời hoặc tiềm ẩn trên các lưới, tấm wafer hoặc chip đóng gói. Phóng điện tĩnh điện cũng có thể tạo ra nhiễu điện từ (EMI), kích hoạt khóa vi xử lý và trục trặc rô bốt dẫn đến gián đoạn dòng sản phẩm và thời gian ngừng hoạt động tốn kém của công cụ.
Ion hóa & Giám sát quy trình
Ion hóa không khí duy trì tính toàn vẹn của phòng sạch và sản phẩm bằng cách trung hòa các hạt tích điện tĩnh trong không khí và trên bề mặt làm việc. Các sản phẩm ion hóa của chúng tôi bao gồm từ các hệ thống kỹ thuật số quản lý và tự động hóa ion hóa phòng sạch và EFEM đến các máy ion hóa chuyên dụng bên trong các công cụ chịu được nhiệt độ khắc nghiệt, phù hợp với các khu vực chật hẹp hoặc tích hợp vào các đường ống khí quy trình để ion hóa luồng không khí hoặc nitơ. Dòng sản phẩm Novx của chúng tôi bổ sung thêm khả năng cảm biến của chúng tôi với tích hợp vòng kín để giám sát môi trường sản xuất trong khi kiểm soát cân bằng máy ion hóa và thực hiện thử nghiệm phân rã tự động. Đội ngũ Kỹ thuật Ứng dụng giàu kinh nghiệm trên toàn thế giới của chúng tôi đảm bảo lựa chọn ion hóa được tối ưu hóa cho các ứng dụng quy trình cụ thể của bạn. Simco-Ion đã được công nhận là công ty dẫn đầu trong công nghệ và sản phẩm giám sát và ion hóa sản xuất chất bán dẫn sáng tạo trong hơn ba mươi năm.
Bảo vệ tĩnh điện cho từng bước của quy trình
Danh mục các giải pháp kiểm soát tĩnh điện của chúng tôi giải quyết mọi giai đoạn sản xuất wafer từ các yêu cầu trong công cụ và môi trường phòng đến các ứng dụng thử nghiệm, lắp ráp và đóng gói.
Sản xuất wafer: Trong công cụ
Bên trong môi trường nhỏ của công cụ và EFEM, Hệ thống ion hóa AeroBar® kỹ thuật số Model 5225 sử dụng Phần mềm IonMonitor để điều chỉnh, kiểm soát và điều chỉnh đầu ra ion để có hiệu suất tối ưu liên tục. AeroBar MP Model 5635 hiện đại đạt Tiêu chuẩn ISO Class 1 đối với các hạt ≥10 nm, do đó cung cấp khả năng ion hóa thanh sạch nhất hiện có cho các công nghệ wafer tiên tiến.
Tiêu chuẩn kiểm soát tĩnh điện
Một số tiêu chuẩn đã được phát triển như hướng dẫn để kiểm soát các tác động tốn kém của tĩnh điện trong môi trường sản xuất. Ion hóa đã chứng minh là hiệu quả và cần thiết trong việc triển khai các tiêu chuẩn này.