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測定顕微鏡とは何か、製品の品質検査への応用

2次元測定・解析機能

パッチ機能を使わずに離れた2地点間の距離を測定する機能です。この機能を使用するには、FOV の中心にある点を測定開始点として登録し、その後 FOV を離れた別の点に移動し、その点を測定終了点として登録します。このようにして、同じ視野内にない 2 点間の距離をすばやく測定できます。

以下の例では、プリント基板上の 2 点間の距離 (約 40,000µm または 40 mm) が測定されます。

始点 終点

2次元測定顕微鏡は、測定点の表面を観察するだけで、簡単な操作で非接触で高精度な高さ・深さ測定が行えます。いくつかの有名な顕微鏡ライン ニコン MM-400、MM-800など 光学式共焦点検出方式をベースに設計された非接触深さ測定顕微鏡です。精密焦点表示器により、測定点の表面を観察し、目盛線の半分を合わせるだけで、高さ、深さ、段差などが測定できます。非接触のため試料の変形や衝撃、傷などの物理的損傷の心配がないため、ICやC加工部品などの電子部品、高精度の機械製品の測定に最適な測定顕微鏡です。

この顕微鏡システムは、顕微鏡の反射照明光学系に統合された目盛り付きスケール (ターゲット マーク) とビーム分割プリズムで構成される正確な焦点表示を提供します。そして、上半分と下半分が重なった正確な焦点の状態では、標本の焦点が合った像の上に観察でき、少しでも焦点が外れると指標線が分割されるという光学原理に基づいて設計されています。グリッドの上半分と下半分の 2 つの行に分割 

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精密機械工業、電子基板製造、教育研究などの製品の品質管理における測定顕微鏡の応用...

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