COSMOS XP-703DIII 半導体工場におけるアルシンガスリークメーター

プロデューサー：ニューコスモス

カテゴリ：有毒ガス検知器

XP-703DIII ハンドヘルド有毒ガス検知器は、配送トラックから直接漏れているガスボンベを発見するための標準と考えられています。このデバイスは、自動ゼロ調整機能、長いバッテリ寿命、および半導体産業で使用されるほとんどの主要なドーピングガスを検出するためのコンパクトなシステムを備えています。非常に低い検出限界 (ppb まで) と迅速な応答 (10 秒) を備えた XP-703D は、理想的な緊急応答ユニットです。
半導体製造ガスの微量エア漏れの検知。
ガス濃度の変化に応じて警報音（断続音）の速度が徐々に変化し、濃度が高くなると連続音となるため、ガス漏れ箇所の発見が容易になります。
1台でさまざまな半導体製造ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素など）に対応できます。

ニューコスモスジャパン

半導体製造ガスの微小なガス漏れを検知

モデル： XP-703DⅢ

半導体グレードのアルシン (AsH3) 市場とは、半導体の製造に使用される高純度のアルシンガスの市場を指します。半導体グレードのヒ素は、ガリウムヒ素、インジウム、アルミニウムガリウムヒ素などの材料の堆積に使用されるため、半導体デバイスの製造において非常に重要です。高純度アルシンガスの需要は、半導体産業だけでなく、IoT、AI、5G などの先進技術の採用の増加によって促進されています。

特徴

半導体製造ガスの微小なガス漏れを検知します。
ガス濃度の変化に応じて警報音（断続音）の速度が徐々に変化し、濃度が高くなると連続音となるため、ガス漏れ箇所の特定が容易になります。
1台でさまざまな半導体製造用ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素など）に対応します。
従来モデルに比べて大幅に小型・軽量化した、手になじむコンパクトボディです。
バッテリー残量やポンプの状態など、機器の状態が一目瞭然のLCD画面を搭載しています。
警報ランプが前面と底面の2か所に装備されており、作業中でも警報が確認しやすくなっています。
保護等級IP22(JIS C 0920)相当※。 ※レザーケース装着時
CE準拠

の XP-703DⅢ 手持ち式有毒ガス検知器は、配送トラックからすぐに漏れたガスボンベを見つけるための標準と考えられています。このデバイスは、自動ゼロ調整、長いバッテリ寿命、および半導体産業で使用される主要なドーパントガスのほとんどを検出するためのコンパクトなシステムを提供します。非常に低いレベルの検出限界 (ppb まで) と迅速な応答 (10 秒) を備えた XP-703D は、理想的な緊急応答ユニットです。